光刻机
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光刻机原理详细介绍？光刻机是一种将光线通过掩模板照射在光敏材料上的设备，用于制造微电子器件。其原理是利用紫外光通过掩模板形成的图案
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光刻机原理详细介绍？光刻机是一种将光线通过掩模板照射在光敏材料上的设备，用于制造微电子器件。其原理是利用紫外光通过掩模板形成的图案